1. 光源：稳频HeNe激光，波长：632.8nm； 2. 光束输出口径4英寸； 3. 均方根值（RMS）重复性λ/10000（2σ）； 4. 帧速200Hz； 5. 可以满足光学平面镜片与元件（100mm口径以内）单侧表面面形精度测量的要求，光学元件的精度为λ/20 PV； 6. 轮廓测量模块搭配干涉物镜： 5.5×,20×倍率，满足干涉测量用； 7. 轮廓测量模块纵向测试精度0.15nm,平台200×200mm，移动范围： 100×100mm，纵向扫描范围：0-20mm.带自动找条纹功能；CCD 1600×1200像素；

微机电微镜行程和光学集成测试系统主要是用于测试微光学器件的表面形貌，并可以在施加电压后测试微机电微光学器件表面形貌的变化；通过测试得到微镜面形PV值和均方根RMS值，并能给出光学器件的power值、球差、象散和彗差，可对数据图像进行二维和三维显示功能；可测试微光学器件表面形貌和电压行程特性；包括干涉和轮廓模块；也可应用于测量电子和生物样品的表面形貌。