TEM非线性分辨率：≤ 80 pm（Cs矫正器）； STEM分辨率：≤ 0.2 nm； 能量分辨率：≤ 0.35 eV；加速电压： 40KV, 80 kV, 200 kV 和300 kV； 300kV下亮度：≧1ｘ109 A/cm2sr

包含S/TEM图像球差矫正装置以及BF，ABF，LAADF，HAADF和拍摄TEM图像和衍射的相机;包含大的接收角，高能量分辨率和高接收效率的能谱仪;高能量分辨和检测效率的电子能量损失谱仪;具有4D STEM功能的像素化探测器;配备各种原位样品杆

Oneview camera； EELS； 4D-CANVAS