马达采用压电陶瓷驱动，马达的支架和位移控制台整体结构采用钛合金材质，并采用Kapton包裹电源线，能够在超高真空下正常使用。 由x,y,z三平动自由度及polar和tilt两转动自由度叠放组成。三个平动轴的范围分别为20mm, 20mm, 20mm, 两个角度自由度分别为polar正负90度，tilt正负15度。 三个平动轴步长为50nm至1500nm，两个转动轴步长为0.5 to 4.0 m°。 位移控制台采用闭环控制，闭环控制传感器平动轴分辨率达到2nm以下，转动轴分辨率达到50µ°以下，位置控制的精度要求小于等于最小步长。 平动位移台要求法向载荷大于40N，切向载荷大于0.5N, 转动位移台要求法向载荷大于2N，力矩大于0.25N•cm。

用于NANOARPES实验站样品和光束聚焦原件的精密移动控制