分子束外延薄膜沉积系统(MBE)
分子束外延薄膜沉积系统(MBE)
联系人
唐述杰, 贾旭超
邮箱
电话
购买日期
2018/11/16
主要规格和技术参数
压力:<1e-10mbar 样品台:10*10mm样品尺寸,旗形样品托;温度RT<T<1400℃(液氮制冷-110℃<T<1000℃);配备样品直流加热系统;
主要功能及特色
Lab10 MBE 是一款小样品沉积工具,用于在 UHV 条件下进行探索性材料研究。它是一个灵活的系统平台,适用于各种 MBE 应用,例如 2D 材料、金属间化合物、氧化物异质结构或有机层的生长。Lab10 MBE 包括卓越的蒸发控制软件,并提供多个用于原位表征的端口。 该系统由一个沉积室和一个用于样品交换的引入室组成。沉积室配备了一个高效的低温挡板和一个可更换的集群法兰。它可以配备各种高质量的积液源。准备了用于原位生长控制和观察端口的额外端口。Lab10 MBE 采用带触摸屏和远程 PC 界面的 MISTRAL 控制系统。安全联锁装置可在停电时保护 UHV 系统。
主要附件及配置