Lab10 MBE 是一款小样品沉积工具,用于在 UHV 条件下进行探索性材料研究。它是一个灵活的系统平台,适用于各种 MBE 应用,例如 2D 材料、金属间化合物、氧化物异质结构或有机层的生长。Lab10 MBE 包括卓越的蒸发控制软件,并提供多个用于原位表征的端口。
该系统由一个沉积室和一个用于样品交换的引入室组成。沉积室配备了一个高效的低温挡板和一个可更换的集群法兰。它可以配备各种高质量的积液源。准备了用于原位生长控制和观察端口的额外端口。Lab10 MBE 采用带触摸屏和远程 PC 界面的 MISTRAL 控制系统。安全联锁装置可在停电时保护 UHV 系统。