非隧穿状态下，系统在各频率的电流本底噪音小于20fA，电流噪音频谱中应无明显特征峰。在隧穿状态下，形貌本底噪音不高于100fm。 在5K下，系统的能量分辨率不低于0.2mV, 即可清晰分辨Pb, Nb等超导材料的超导能隙。

极低温扫描隧道显微镜，具有JT制冷功能模块，该功能正常开启时，可进一步使得样品温度降至1.5K以下。 后续可通过控制器升级增加原子力显微镜功能。