镜箱含螺纹阵列面包板，用于放置倍频晶体，聚焦镜，反射镜等光学器件，用于深紫外波段激光的产生，准直和聚焦。在高纯氮气气分工作，也需要兼容真空需求（抽真空时达到<1.0×10-3 mbar），有三个不小于15mm×20mm的观察窗口。 四自由度精密样品操纵台须能XYZ三自由度精密平动和面内角度Omega转动，电动驱动。平动距离大于5mm，平动精度达到0.001mm，总高度小于140mm。 KBBF晶体棱镜耦合器件含KBBF晶体，器件耦合角度满足激光从355nm到177nm倍频需求。 稳定高精度电动镜架光学直径25.4mm，θx，θy两个角度可调，调整范围±4°，角分辨0.7μrad。 多通路压电陶瓷马达控制系统八插孔，最大脉冲频率2kHz，10.5-14.5V直流。

用于角分辨光电子能谱仪实验所需177nm激光的产生