（1）工艺腔数量：2个。 （2）转子：配置4寸晶圆转子一个，8寸晶圆转子一个。 （3）工作转速： 0—2800转/min，± 5 RPM。 （4）采用聚四氟管道、阀体，其中，工艺腔体内旋流式冲洗喷嘴。

整机采用双工位层叠、积木式组合结构，每个工位可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警等全自动工艺处理过程。

（1）载体专用扳手 1个 （2）4寸晶圆转子一个，8寸晶圆转子一个