SQDL（已停用）

六寸水冷基底10kW电子束沉积系统预约送样

联系人

陆盛楠

邮箱

lushn@shanghaitech.edu.cn

电话

021-20684692

购买日期

2020/07/11

主要规格和技术参数

Lesker ProlinePVD75 1号电子束沉积系统主要是用来各种金属薄膜材料的沉积，同时还可以设定多种工艺参数来满足实验要求。极限真空：4x10-8 Torr

主要功能及特色

目前提供的源有：Ti、Al、Pd、Pt、Au、Cr、Cu

主要附件及配置