系统集成2条自动流水线分别完成甩胶和显影全过程。发送和接收台4个，光刻胶旋涂模块1个，显影模块1个。Track1为涂胶工艺线；Track2为显影工艺线。Track1为涂胶工艺线：可以旋涂S1818正性光刻胶、SPR220-7正性光刻胶、AZ5214、S1805四种光刻胶，现用的EBR为AZ400T去胶液。Track2为显影工艺线：现用的显影液为MF-26A及AZ300MIF，可显影以上的四种光刻胶。适用于4英寸和6英寸晶圆片。

能实现自动匀胶及显影。