MSA600 1） 面外测量最大频率达25MHz；面内最大频率2.5MHz； 2） 最大测试电压20Vpp;

1. 基于 MEMS 系统的 MSA-600 显微式激光测振仪，不仅能测量面内 振动和面外振动，还可提供三维动态与可视化振型。 2. MSA-600 能快速进行实时测量，位移分辨率达亚 pm 级，无需数据 后处理。 3. 系统集成探了 6 寸探针台，方便对 MEMS 器件进行测量。

1）基于激光多普勒原理，实时显示面外振动特性，位移分辨率达亚 pm，最大频率达 25MHz，最大振动速度 10m/s。可实现二维面扫，振 型可视化。 2）基于频闪法测量面内振动，位移分辨率 5 nm，最大频率 2.5MHz， 最大振动速度为 10 m/s