SQDL（已停用）

高真空离子溅射仪

高真空离子溅射仪送样

联系人

王旭, 杨津津

邮箱

wangxu@shanghaitech.edu.cn

电话

021-20684719

购买日期

2020/05/06

主要规格和技术参数

SuPro ISC150，溅射功率6→14W，沉积温度≤37℃

主要功能及特色

采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境，保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率SEM样品的喷金。主要的特点：无油，高真空，制备薄膜纯度高，薄膜质量优。

主要附件及配置

Au靶材、真空泵、磁控电源