SQDL（已停用）

电子束曝光机

电子束曝光机预约送样

联系人

翁思远

邮箱

wengsy@shanghaitech.edu.cn

电话

users.sqdl@shanghaitech.edu.cn

购买日期

2017/10/10

主要规格和技术参数

加速电压：125 KV 可实现最小线宽 < 20 nm

主要功能及特色

高电压、大写场，兼具高分辨率和高曝光速率。样品尺寸：20mm*20nm以下不规则小片，2/3/4/5/6寸晶圆。

主要附件及配置

动态聚焦消像散器、可变场大小发生器、预对准台。