位移精度：0.1 nm，x方向位移范围：0~15 mm，y方向位移范围：0~15 mm，z方向位移范围：0~15 mm，角度精度：0.1°，θ1控制范围：-5°~+5° ，θ2控制范围：-5°~+5° ，θ3控制范围：-5°~+5° 。

六轴高精密光学器件调节系统主要应用在芯片耦合测试平台中，可用于夹持光纤或者光纤FA，在六个方向上对光纤或者光纤FA进行位移和角度等参数进行控制，确保光纤与芯片之间可以实现精确地耦合对准，使得尽可能多的光从光纤耦合到芯片中。