透射电子显微镜指标:
JEOL 兼容
保证透射电镜原有分辨率
扫描探针操纵指标:
• 粗调范围:XY 方向 2.5mm, Z 方向 1.5mm
• 细调范围:XY 方向 18um, Z 方向 1.5um
• 细调分辨率:XY 方向 0.4nm, Z 方向 0.04nm
电学测量指标:
• 包含一个电流电压测试单元
• 电流测量范围:1nA-30mA, 9 个量程
• 电压输出范围:普通模式±10V,高压模式±150V
• 电流分辨率优于 100fA
• 自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存