扫描探针操纵指标 粗调范围：XY方向3.0mm，Z方向1.5mm。 细调范围：XY方向20um，Z方向2.0um。 细调分辨率：XY方向0.3nm，Z方向0.03nm。 电学测量指标 包含一个电流电压测试单元。 电流测量范围：0-20mA，5个量程。最小电流分辨率：30fA。 电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V。 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

透射电子显微镜原位电学性能测试系统是在标准外形的透射电镜样品杆内加装扫描探针控制单元，通过探针对单个纳米结构进行操控和电学测量。并可在电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征

样品杆、控制器