样品台/载物台尺寸： 150mm（6 英寸） 样品台平整度：≤ 0.0005” 样品台吸附方式：真空吸附 样品台 X-Y 行程： 150 mm * 150 mm 样品台 X-Y 行程分辨率：5μm 样品台旋转轴：15°（细调） 针座吸附方式：真空吸附 针座 X-Y-Z 行程：12 mm * 12 mm * 7 mm 探针臂水平(左右)方向: 180 度范围 探针臂垂直(上下)方向: 120 度范围（探针臂针的倾斜度 Tilt） 显微镜 X-Y 行程：50mm * 50mm 显微镜目镜倍率：10X 显微镜物镜倍率：2X，10X，20X 显微镜变焦倍率：1X - 2X（总放大倍率为 20X-400X） 温控系统可控温度范围和精度：室温到 200℃，精度+/- 0.1℃

Signatone S1160 手动探针台是与 Keysight B1500A 半导体器件分析仪搭配使用的手动探针台，具有操作简便，漏电流<100fA 的优异性能，无需 bonding，可实现直接的电性测量。

针座 * 6个 针尖 5微米和1微米