1、1000级净化室每小时换气不小于50次，10000级净化室每小时换气不小于25次； 2、10000级净化用组合式空气处理机组，风量不低于35000立方米/小时，电压380V，功率15kW，加湿量60kg/h，功率45kW； 3、1000级净化用组合式空气处理机组，风量不低于23000立方米/小时，电压380V，功率11kW，加湿量30kg/h，功率22.5kW； 4、泵区用组合式空气处理机组，风量不低于6500立方米/小时，电压380V，功率2.2kW，加湿量10kg/h，功率7.5kW； 5、转轮除湿机，风量不低于11000立方米/小时，电压380V，功率7.5kW。

该设备提供软纳米平台净化室千级和万级净化环境，新用户必须参加安全培训，并通过安全考核，方能进入软纳米净化室使用该共享实验室空间。

1、室外型组合式空气处理机组，包含10000级净化用组合式空气处理机组，1000级净化用组合式空气处理机组和泵区用组合式空气处理机组，共3套； 2、模块式风冷冷（热）水系统，包含（全年制冷）模块式风冷冷水机组共2套，模块式风冷冷热水机组1套； 3、转轮除湿机，1套。