"光谱范围(Spectrum range)：245-1700nm 膜厚测量重复性(Thickness measurement repeatability)：0.05nm 折射率测量重复性(Refractive index measurement repeatability)：0.001 入射聚焦光斑尺寸(incidence focusing spot size)：500μm 可测量样品尺寸(Measurable sample size)：ϕ 200mm"

ES01 系列是ELLITOP 针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度全自动光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到红外。基于高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件，可用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1 和ε2），也可用于测量块状材料的光学性质。

"自动变入射角度仪器结构； 光学器件； 样品对准系统：自动准直望远镜和显微镜，用于样品的高度和倾斜度监视，辅助调整 宽光谱光纤； 光源组件； 控制部分：电源组件、运动控制组件 "