上海科技大学量子器件中心（ShanghaiTech Quantum Device Lab，简称SQDL）是上海科技大学于2019年12月正式设立的面向全校、科研院所乃至全社会开放的仪器共享科研平台，也是学校开展半导体器件工艺及其交叉学科研究的重要创新平台。SQDL将紧紧围绕学校学科发展和人才培养目标，建设国内一流科研平台，支撑芯片领域前瞻性和创新性的科学研究。
       SQDL实验室位于海科路99号1号楼，分为地下和地面二层净化空间，占地2600余平方米。平台设有百级（ISO-5）和千级（ISO-6）两个洁净室区域，其中千级净化间为1000平米，百级净化区域为500平米，布局有清洗、镀膜、干法刻蚀、湿法刻蚀、光刻、封装、量测等用途的微纳先进工艺设备共60余台，拥有电子束曝光机、AlN薄膜生长系统、ALD原子层沉积等先进设备，具备全面的半导体芯片制备条件。
       一、建设目标
       适合于学科前沿和前瞻性技术发展的、开放共享的、固体功能材料微纳工艺制造平台。
       二、发展定位
       聚焦在微电子芯片为典型代表的固体微纳器件学科前沿和前瞻技术，在沪区的科学院和上海市微纳器件重要学科以及新技术骨干研究机构的核心科技方向上，形成战略联盟。设计、构造和形成以半导体芯片和MEMS芯片为牵引的微纳加工科研平台，重点解决技术成熟度在1-3级的前瞻技术概念验证和培育问题。
       三、发展方向
       SQDL将重点聚焦微电子、光电子和微纳机电领域的新一代芯片：在微电子学领域，重点围绕半导体材料中的GaN基材料、Si基材料和SiC基材料发展新一代微电子芯片；在光电子学领域，重点围绕III-V族化合物半导体材料发展新一代光电子芯片；在纳机电系统，重点围绕压电、铁电等固体材料的纳机电系统特性发展新一代芯片。

一层

负一层