仪器设备
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显微镜
显微镜
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王旭, 杨津津
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20684719
湿法腐蚀台
湿法腐蚀台
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张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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20685791
净化型化学药物柜
净化型化学药物柜
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王镜喆
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20684633
SQDL净化室环境维护
SQDL净化室环境维护
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叶佳
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海科路99号1号楼B1层海科路99号1号楼B1层
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20684743
氮化物清洗槽
氮化物清洗槽
联系人 :
王镜喆
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20684633
等离子去胶机
等离子去胶机
联系人 :
吴廷琪
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湿法腐蚀台通风橱2
湿法腐蚀台通风橱2
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张祁莲, 王镜喆
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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湿法腐蚀台通风橱3
湿法腐蚀台通风橱3
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张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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显影通风橱
显影通风橱
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张祁莲
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光学显微镜
光学显微镜
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王旭, 杨津津
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