仪器设备
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光谱反射膜厚仪
光谱反射膜厚仪
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联系人 :
王旭, 杨津津
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
18321183770
多靶材溅射仪SPUTTER
多靶材溅射仪SPUTTER
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联系人 :
张祁莲, 吴文一, 闫晓密
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
椭偏仪
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联系人 :
杨津津
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
18321183770
磁控溅射沉积系统
磁控溅射沉积系统
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联系人 :
张祁莲
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
自动涂胶显影机
自动涂胶显影机
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联系人 :
彭鹏飞, 张雁冰
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
20684632
线性扫描轮廓仪
线性扫描轮廓仪
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联系人 :
王旭, 杨津津
地址 :
上海科技大学海科路99号1号楼未分区1楼101净化室
电话 :
18321183770
步进式光刻机
步进式光刻机
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联系人 :
彭鹏飞
地址 :
上海科技大学海科路99号1号楼1楼101净化室
电话 :
021-20684632
高真空离子溅射仪
高真空离子溅射仪
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联系人 :
王旭, 杨津津
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
18321183770
划片机
划片机
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联系人 :
叶佳
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上海科技大学海科路99号1号楼未分区B1层B101净化室
电话 :
021-20684743
深硅刻蚀机
深硅刻蚀机
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联系人 :
刘娟娟
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心超净室
电话 :
02120685796