仪器设备
关键词 :
原子层积系统
联系人 :
马驰原
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684635
3D电子扫描显微镜
联系人 :
王旭
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F-黄光区
电话 :
021-20684719
HBR刻蚀机
联系人 :
吴廷琪
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
氟化氙刻蚀仪 XEF2 ETCHER
联系人 :
马驰原
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684635
HF干法刻蚀机
联系人 :
马驰原
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684635
氮化铝集成溅射仪
联系人 :
张祁莲, 王镜喆, 闫晓密
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684633
减薄抛光系统 抛光机
联系人 :
吴廷琪, 叶佳
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室B1
电话 :
20684743
电子束曝光机
联系人 :
翁思远
地址 :
海科路99号1号楼 量子器件中心-无尘室B1
电话 :
users.sqdl@shanghaitech.edu.cn
高功率等离子体刻蚀机
联系人 :
马驰原
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684635
3D电子扫描显微镜
联系人 :
马驰原, 杨津津
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室-1F
电话 :
18321183770