仪器设备
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低压化学气相沉积系统
低压化学气相沉积系统
  送样
联系人 :
王镜喆
地址 :
海科路99号1号楼B1层材料器件中心净化间
电话 :
021-20684633
电子束金属蒸发系统
电子束金属蒸发系统
  送样
联系人 :
张祁莲
地址 :
上海科技大学海科路99号1号楼未分区1楼101净化室
电话 :
021-20685791
高深宽比金属柱制备系统
高深宽比金属柱制备系统
  送样
联系人 :
张祁莲
地址 :
上海科技大学海科路99号1号楼未分区1楼101净化室
电话 :
021-20685791
净化烘箱
净化烘箱
联系人 :
张雁冰
地址 :
上海科技大学海科路99号1号楼未分区1楼101净化室
电话 :
湿法腐蚀台
湿法腐蚀台
联系人 :
张祁莲
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
20685791
净化型化学药物柜
净化型化学药物柜
联系人 :
王镜喆
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684633
氮化物清洗槽
氮化物清洗槽
联系人 :
王镜喆
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684633
等离子去胶机
等离子去胶机
联系人 :
吴廷琪
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
湿法腐蚀台通风橱2
湿法腐蚀台通风橱2
联系人 :
张祁莲, 王镜喆
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
20685791
显影通风橱
显影通风橱
联系人 :
张祁莲
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
20685791