Soft Matter Nanofab 上科大-物质学院-软物质微纳加工实验室

物质科学与技术学院，李**同学，连续镀三次 Si 膜共计 15 μm，主要违反了每次最多镀膜 5 μm 后必须清腔的规定，导致腔体内粉尘过多，腔体污染严重，同时内外胶圈沾有粉尘，影响设备的真空度，且粉尘易吸入真空泵，减少泵的使用寿命。经平台委员会讨论决
定，给予李**同学设备红牌处罚，禁止使用 PECVD 一个月，重新考核通过后取得设备使用权限。