仪器设备
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湿式蚀刻清洗系统
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张超
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物质学院7号楼软纳米中心薄膜3区
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湿式蚀刻清洗系统
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熊荣欣
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spinner 3
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陆盛楠
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腐蚀清洗通风柜
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陆盛楠
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物质学院7号楼108薄膜1区
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021-20684692
四探针电阻测量仪
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陆盛楠
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物质学院7号楼软纳米中心薄膜3区
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021-20684692
光学显微镜
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高珍
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物质学院7号楼108室薄膜一区
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光学显微镜
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高珍
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物质学院7号楼108室薄膜三区
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021-20684649
双光子3D微纳光刻系统
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张艳
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物质学院7号楼黄光区
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扫描热探针光刻系统
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