Soft Matter Nanofab 上科大-物质学院-软物质微纳加工实验室

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离子束蚀刻系统

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熊荣欣

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物质学院7号楼软纳米平台超净间刻蚀区

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021-20684670

腐蚀清洗通风柜

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何金金

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薄膜1区薄膜1区

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腐蚀清洗甩干设备

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熊荣欣

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物质科学与技术学院超净间刻蚀区

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紫外臭氧固化炉

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张艳

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物质学院7号楼薄膜二区

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六寸全自动甩胶显影系统

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熊荣欣

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物质学院7号楼超净间黄光区

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六寸晶圆大尺寸光学显微镜

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开放式光能和光感探针台

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何金金

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物质学院7号楼一层软纳米中心实验室104

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光学显微镜

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物质学院7号楼108室黄光区

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四探针电阻测量仪

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净化室空气净化系统

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王宏达, 张超, 陆盛楠, 熊荣欣, 何金金, 张艳, 高珍

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