仪器设备
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磁控溅射薄膜沉积系统
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张超
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物质学院7号楼软纳米中心薄膜3区
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021-20685517
氦离子-聚焦离子束显微镜
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深紫外/可见光/近红外光谱椭偏仪
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何金金
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薄膜3区薄膜3区
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021-20684672
六寸水冷基底10kW电子束沉积系统
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陆盛楠
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物质学院7号楼108薄膜3区
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021-20684692
薄膜材料制备平台-2号磁控溅射薄膜沉积系统
联系人 :
何金金
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薄膜2区薄膜2区
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021-20684672
氧化物原子层沉积系统
联系人 :
陆盛楠
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物质学院7号楼108薄膜2区
电话 :
021-20684692
等离子体增强化学气相沉积仪
联系人 :
何金金
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刻蚀间刻蚀间
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021-20684672
反应离子刻蚀系统
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张艳
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物质学院7号楼104室刻蚀区
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021-20684687
湿式蚀刻清洗系统
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张艳
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物质学院7号楼软纳米平台刻蚀间
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spinner 1
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张艳
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物质学院7号楼黄光区
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