"(1) 真空度优于5.0x10-10mbar; (2) XPS灵敏度: 0.6eV@1,000,000cps; XPS极限分辨率: 0.45eV@100,000cps (3) ISS灵敏度及分辨率:12eV@25,000cps (4) REELS灵敏度及分辨率 :0.5eV@1,000,000cps (5) UPS灵敏度及分辨率: 0.1eV@1,000,000cps (6) 样品台温度 : 100-600K (7) 空间分辨率(快速平行成像): <1μm"

"ESCALAB 250XI由Thermo Fisher Scientific设计的高灵敏度与高分辨率定量成像多功能表面分析仪，研究固体样品表⾯（1-10nm）的元素种类、化学态及其相对含量，广泛应用于腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆、氧化等过程。 XPS使用单色源或非单色双阳极任一X射线源微聚焦，适用于样品微区表面分析（＞20μm）和特殊过渡⾦属元素研究。 离⼦刻蚀技术可用于成分深度剖析，转角度XPS可用于⾮损伤成分深度分析。 高级平行X射线光电子成像（XPI）监测系统，可对图像视场内的微小特征定量分析。 UPS可以在高分辨率水平上探测样品表面电子的能量分布信息，被广泛地用来研究气相原子/分子/吸附分子和固体样品表面的价电子和精细结构"

仪器配备快速进样室、自动化五轴样吕台、电子中和枪、离子散射谱（ISS）、反射电子能量损失谱（REELS）、紫外光电子能谱（UPS）和俄歇电子能谱（AES）。