主要规格和技术参数
实验最小特征尺寸14-nm，多材料兼容（金属、半导体、量子点和高熵合金等），高通量加工3D纳米结构阵列
主要功能及特色
法拉第3D打印技术是冯继成课题组自主研制，其由电场驱动的“自下而上”的原子级增材制造技术。它通过精确控制电场“力线”，引导非常小的粒子在基板上进行三维精密组装。该技术无需昂贵的光刻机与光掩模，即可实现10纳米级的线宽精度、晶圆级通量、多材料（金属、半导体、高熵合金、量子点等）集成与复杂的真三维结构制造。
主要附件及配置
2025.12.8学院提交申请，由2022104744 纳米移动台 ￥550,359.00、2022105869 大腔室磁控离子溅射仪 ￥426,532.00集成