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电子束金属蒸发系统

电子束金属蒸发系统送样

联系人

张祁莲

邮箱

zhangql@shanghaitech.edu.cn

电话

021-20685791

购买日期

2022/09/30

主要规格和技术参数

反应腔本底真空：≤2*10-8Torr，配有抽速：3000L/s的低温泵。材料厚度：≤2mm

主要功能及特色

主要用于沉积各种金属薄膜材料，可蒸发金属：Ti，Pt，Au，GeAu，Ni，Cr

主要附件及配置

坩埚：6个。KL-8电子枪：1个，电源：5kw。样品尺寸：支持6寸及以下样品。沉积温度：室温。