• 探测器类型:Octane Elite硅漂移探测器(SDD),可选Plus(30 mm²)和Super(70 mm²)两种型号。
• 能量分辨率:
- 标准:125 eV(Mn Kα @ 10 kV)
- 可选:123 eV高分辨率版本
• 探测范围:Al L(73 eV)至 Am
• 轻元素性能:配备Si₃N₄硅氮化物窗口,相比聚合物窗口大幅提升轻元素(N、O)检测灵敏度与低能量透过率
• 计数率性能:
- 碳检测下输入计数率>750k cps
- 极限吞吐量:850k cps @ 2.0 μm icps
• 其他配置:
- 电动滑台,适用于所有FIB系统
- Peltier冷却
- 集成EDS-EBSD-WDS一体化Trident系统
• 轻元素高灵敏度:Si₃N₄窗口实现卓越的轻元素(N、O)及低能量元素检测能力。
• 低kV性能:优化设计,适用于低加速电压(如2.5 kV)条件下的高灵敏度与高分辨率分析。
• 高吞吐量:优化电子学,支持大面积快速映射,输出速率>400,000 cps,提升工作效率。
• 高可靠性:Si₃N₄材质保证探测器耐用性与稳定性,适用于各种复杂EDS应用场景。
• 电动滑台:软件控制探测器出入,提升分析灵活性,特别适合配合FIB系统使用。
• APEX高级软件:界面简洁、支持实时图形显示与同步数据回顾,提升分析效率与数据质量。