真空系统真空度优于：5e-10mBar； 样品制备系统：加热温度：1600度，XY行程25mm，Z向行程200mm；电子枪高压范围：0.2~5keV； 样品操纵台：温度范围为10~300K，倾角范围-30~60度，其它两个角度为360°，线性行程5cm，分辨率0.1um； 能量分析器：接收角22°，能量分辨率：8meV；

样品原位制备、镀膜及表征。