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化学气相沉积系统(ICPCVD)
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吴廷琪
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六寸晶圆大尺寸光学显微镜
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气相色谱(FID)
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刘素红
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高精度贴片机
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叶佳
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海科路99号1号楼 量子器件中心-无尘室1F
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薄膜材料制备平台-2号磁控溅射薄膜沉积系统
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何金金
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021-20684672
晶圆电镀系统
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张妍亭
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上海科技大学海科路99号1号楼未分区B1楼B1净化室
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反应离子刻蚀系统
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吴廷琪
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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张艳
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物质学院7号楼黄光区
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等离子刻蚀系统
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吴廷琪
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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反应离子刻蚀机
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吴廷琪
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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